SEMニュース

SEMニュースヘッドライン 2019/11/12

SEMでの元素分析を10nm以下の空間分解能で実現 – EE Times Japan


産業技術総合研究所(産総研)は、走査型電子顕微鏡(SEM)中で行うエネルギー分散型X線分光法(EDS)計測を用いた元素分析において、これまでより2桁以上も高い空間分解能で可視化する技術を開発した。
https://eetimes.jp/ee/articles/1911/11/news036.html
2019/11/12 09:30

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